Plėtojant Kinijos puslaidininkių pramonę, pagrindinių proceso įrangos komponentų kūrimas tapo esminiu įrangos plėtros apribojimu. Vis stiprėjant poreikiui lokalizuoti vietines puslaidininkių technologijas, bus įveikta vis daugiau puslaidininkių pramonės technologijų kliūčių. Remdamasi ilgamete patirtimi puslaidininkių pramonėje, mūsų įmonė sukūrė tuščiavidurį{2}}veleną didelio greičio-servo variklį, skirtą puslaidininkių dengimo, ryškinimo ir valymo įrangos plokštelėms adsorbuoti. Šis variklis pasižymi dideliu pagreičiu, plačiu greičio diapazonu ir dideliu reagavimu, todėl buvo plačiai įvertintas pramonės klientų.
Tuščiavidurio{0}}veleno servovariklio taikymas:
Ekspozicijos ir ryškinimo įranga (dengimas, ryškinimas): pagrindinė fotolitografijos procesų įranga, valdanti dengimą, ekspoziciją ir ryškinimą.
Valymo, dengimo, ryškinimo ir plėvelės šalinimo įranga.
Tinka fiziniam skalavimo valymui, dalelių valymui ir purškimo procesams.
Tuščiavidurio veleno servo variklio gaminio specifikacijos ir taikymo sritys:
750W/1000W – 5000, 6000 aps./min
Taikymo sritys (aukštos klasės{0}}modeliai):
8 colių ir 12 colių puslaidininkinė įranga.
Tokie procesai kaip dengimas, ryškinimas, valymas ir ėsdinimas.
Maksimalus pagreitis gali siekti 50000 R/S² momentinį pagreitį.
Speciali veleno galo konstrukcija užtikrina mažiausią veleno galo apkrovos nutekėjimo koeficientą.
